據ETNews消息，三星已經將韓國本土公司研發(fā)的EUV光刻膠（EUV PR），用于一條半導體工藝線生產。
圖：東進半導體的化學品產線
據悉，在2019年日本限制對韓國出口EUV光刻膠后，韓國東進半導體就開始研發(fā)EUV光刻膠，并在2021年通過了三星電子的可靠性認證，隨后在不到一年的時間里，就將其應用到生產線。據悉，東進半導體于2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim為副會長，為進軍EUV PR業(yè)務打下基礎。2021年初，東進通過增加光刻膠研人員來加速產品開發(fā)。此后，東進EUV PR在三星華城廠區(qū)進行了幾個月的驗證。由于三星將該產品用于實際的半導體生產，東進半導體成為韓國第一家將EUVPR國產化至量產水平的公司，盡管三星尚未確認是否將引進更大批量的EUV PR，也未確認東進半導體的產品用于哪種工藝，但對于半導體供應鏈自主已經具有標志性意義。
圖：三星半導體產線
在此期間，韓國政府和企業(yè)多次赴日商討放寬管制，但幾乎未取得積極成果。但為了避免失去大客戶和被韓國本土廠商替代，日本半導體材料企業(yè)也紛紛“自救”。芯片大師曾報道住友化學將在韓國建廠生產ArF光刻膠，住友化學宣布在其全資子公司韓國東宇精細化學株式會社益山廠建立一座新的ArF浸沒光刻用光刻膠生產工廠。另一家光刻膠大廠TOK（東京應化）則擴大了其在仁川市的工廠，使其本地光刻膠產能比2018年翻了一番。
同時，向SKHynix供應電子氣體的Daikin Industries（大金工業(yè)）與韓國設備供應商成立合資企業(yè)，并在韓國投資40億日元建立工廠。
圖：電子級氟化氫提純設備
同時，另外一種被日本出口管制的半導體原材料氟化氫的替代進度更快。韓國化學廠商Soulbrain于2020年1月研發(fā)出高純度氟化氫，目前正在向三星電子供貨。當Soulbrain研發(fā)氟化氫的消息傳出后，日本恢復了對韓國的出口。目前，SK Materials、Ram Technology、ENF Technology已成功開發(fā)出氟化氫，部分產品已被半導體廠商用于量產。根據韓國工業(yè)部的數據，3年間韓國氟化氫進口量下降66%，從2019年的3630萬美元下降到去年的1250萬美元。
